
A | AI 的发展正在不断推高全球对算力的需求,随着以英伟达(NVIDIA)为代表的高端 AI 加速器功耗快速攀升,数据中心的机架功率密度将被推至 300 千瓦级别。 巨大能耗之下,散热成为不容忽视的关键问题:芯片消耗的电能几乎全部以热的形式耗散出来。而在目前的芯片热传导路径中,铜是散热扩散层、热管、蒸汽腔和封装基板的主力材料,导热率约为 400 瓦每米每开尔文(W/m·K)。 8月25日,济南黄岗路黄河隧道建成通车。一个世纪以来,这就是金属导热的真实性能上限。至此,济南在黄河之下已拥有两条世界级大直径盾构隧道,“四桥四隧”跨黄通道群加速成网。

B | 这不是一条普通的跨黄隧道。 今年年初,加利福尼亚大学洛杉矶分校(UCLA)萨缪利工程学院的胡永杰教授团队在《科学》(Science)发文,他们造出一种曾经只存在于理论中的金属材料:θ 相氮化钽(θ-TaN)单晶。

C | 实验发现,该材料的室温导热率可达 1,100 W/m·K 左右,接近铜的三倍。

D | 回望中国跨江、跨河通道史,1957年武汉长江大桥通车,将三镇缝合成一座大武汉,开启了长江城市的跨江融合时代;1991年上海南浦大桥飞架浦江,延安东路隧道穿江而过,浦东从“烂泥渡”一跃成为国际金融中心。

E | (来源:Science) θ-TaN 的 70 年发现之旅 1950 年代,德国化学家布劳尔(Brauer)等人在高温高压条件下发现,TaN 存在一种 θ 相。 交通设施的跨越式升级,从来都是改写城市基因的关键变量。

F | 对于被黄河穿城而过的济南而言,黄岗路黄河隧道的通车,意味着这座城市再一次改写城市空间格局,从“跨黄”加速迈向“拥黄”——黄河,正在从城市天堑变为城市内河。近年来,学界预测,θ-TaN 具备远超常规金属的本征导热率,潜在值接近金刚石和砷化硼。但此前有关 θ-TaN 的研究都停留在理论层面,高质量 θ-TaN 晶体始终未被造出,其导热性能也无从验证。
济南日报·爱济南记者 崔健 摄
17.5米直径,世界之“最”的硬核实力
走进黄岗路黄河隧道,给人的第一印象就是“大”——
世界最大直径水下盾构隧道,开挖直径达17.5米的“山河号”盾构机,相当于六层楼高,刀盘面积240平方米,可覆盖2套三室两厅的商品房;隧道单洞双层布置,上层自南向北,下层自北向南,在国内穿黄隧道中尚属首例。
障碍主要在合成端。

G | 稳定 θ 相需要在数千摄氏度环境下对材料施加数吉帕(GPa)压力,加之氮化钽体系中存在立方(δ-TaN)、六方(ε-TaN)、四方(t-TaN)等多种竞争晶相,过往合成的样品几乎都是含有晶界、缺陷与混相的多晶粉末。4.2米的内部净高,可满足通行公交、消防、管理及救援车辆等要求。 而且,此前的理论分析也指出,如果 θ-TaN 晶体存在缺陷或杂质,其导热率会远低于理论值水平。 为何要造如此“大”的隧道?“一次开挖,即得两层,实现两洞隧道的交通功能。

H | 为解决这一难题,胡永杰团队与日本东北大学(Tohoku University)多学科先进材料研究所的孝广(Takahiro Yamada)等人合作,采用了一种名为助熔剂辅助复分解反应的技术:以金属钠同时充当还原剂和助熔剂,绕开传统高压合成路线,在富氮环境下直接将氧化钽转化为氮化钽单晶。 最终得到的 θ-TaN 单晶尺寸在 10 到 100 微米之间,表面光洁、单一晶相。

I | 团队进一步通过拉曼光谱、单晶 X 射线衍射(S-XRD)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)、电子能量损失谱(EELS)等表征手段确认了样品的结构完整性,证实其特征与先前预测高度吻合。 成功造出单晶后,团队终于有了验证 θ-TaN 导热率的机会。”中铁十四局黄岗路黄河隧道项目现场负责人周祥解释,如此设计不仅节约了宝贵的地下空间,更让工程投资减少约15%。但“大”也意味着前所未有的挑战。

J | 测量结果显示,在室温条件下,θ-TaN 沿 a 轴方向(六方晶格底面内)的导热率约为 1105 W/m·K,沿 c 轴方向(垂直于底面)约为 928 W/m·K,反映出 θ-TaN 导热性能的各向异性。而跨整个晶体扫描的空间分布测量显示,同一方向上导热率在样品各处保持一致,这表明测得的高导热率来自晶格本征行为,不是偶然现象。

K | 17米级超大直径盾构机的系统集成更复杂,制造难度、施工难度和风险系数也呈几何式增长。 θ-TaN 的优越导热性能与其特殊的晶体结构密切相关。 在微观层面,固体材料的导热由两类载体承担:一是自由电子的定向流动,二是晶格原子的集体振动。

L | 后者在量子力学框架下被定义为声子(phonon),类比电子传递电流,声子则在晶体里传递热量。 更大考验来自黄河本身。黄河济南段是典型的“地上悬河”,地质复杂如“满是核桃的粘糕”。 在铜、铝、银等常规金属中,热传导主要由自由电子承担,但电子与声子的相互作用反而会消耗上述两条通道的输运能力;再者,其内部活跃的声子-声子散射会进一步削弱导热。但 θ-TaN 的特殊之处在于,其声子-声子的相互作用极弱,电子也几乎不与声子交换能量,同时把两条散射通道都堵上了。“这就既要防‘粘牙’,又要防卡泵、损刀具。”面对这些世界级难题,“山河号”搭载的“五官一脑”智能化装备系统,不仅“看得远”“听得清”;更“有知觉”“会号脉”,轻松实现全流程感知、预警和智能决策。 此外,钽元素的一个自然属性又提供了第三重加成。声子在晶格中传播时,如果遇到质量不一致的原子,也会发生散射,影响导热。 此外,为守护市民“大水缸”鹊山水库,项目团队还首创“絮凝+提浓+压滤”泥浆处理工艺,实现尾水零外排,每日泥浆处理效率提高50%,滤饼的含水率降低至30%以下,达成效率与环保的双赢。 据悉,该工程先后攻克28项技术难题,申报专利22件,创造17米级盾构施工世界纪录。正是这些硬核科技,支撑起“世界最大”的底气。但钽几乎是单一同位素元素,天然钽中 ¹⁸¹Ta 同位素的丰度高达 99.988%,原子质量差异导致的散射在 θ-TaN 上天然被削弱。

M | 从桥梁到隧道,跨黄方式持续升级 穿城而过的黄河,曾是济南的“成长烦恼”。 这些特性让热量可在 θ-TaN 晶格中以罕见的低阻尼状态传输,接近“晶格对热运动透明”的理论极限。南依泰山余脉,北临黄河,过去很长一段时间,济南因城市空间被夹在山与河之间,伸展不开手脚。

N | 为打通南北发展脉络,济南持续布局跨黄通道。20世纪80年代,济南黄河大桥建成通车,结束了黄河两岸靠摆渡过河的历史。 以金属之躯,达到金刚石级别的导热性能 需要注意的是,θ-TaN 只打破了金属材料维持一百多年的导热率纪录,还有导热性能更好的非金属材料,比如金刚石(俗称钻石)。此后几十年间,济阳黄河大桥、建邦黄河大桥、齐河黄河大桥相继落成,一座座桥梁如巨龙横卧黄河之上。

o | 天然金刚石的导热率可达 1,500~2,200 W/m·K,超纯合成金刚石可达 3,000 W/m·K。 然而,桥梁受限于通航净空、防洪要求和环境影响,桥位选择越来越难,建设成本也越来越高。

p | 目前,工业上已在探索用化学气相沉积(CVD)金刚石薄膜作为热扩散层,直接键合至逻辑计算芯片的背面,用于台积电 CoWoS 等 2.5D/3D 先进封装。 图 | 单晶 CVD 金刚石薄膜(来源:WikiPedia) 但金刚石有三个显著短板:生长速度慢、能耗高,制造成本居高不下;再者,金刚石是电绝缘体,加入电气路径时需要多一道工艺;最后,作为已知最硬的材料,对金刚石进行切割、抛光、打孔都极其困难,与硅工艺的兼容性偏弱。 面对这些劣势,θ-TaN 的金属属性,及其与现有芯片封装工艺天然亲和,让它有望成为比金刚石更优的选择。 首先,氮化钽薄膜本身就是集成电路制造中常用的扩散阻挡层材料,目前的铜互连工艺广泛使用氮化钽作为衬垫。在黄河流域生态保护和高质量发展的国家战略下,建设者又给出了一项新“选择”。“与修建桥梁相比,隧道可以‘悄悄’从河底钻过,不影响一舟一帆,最大限度保护河道生态与自然景观。”中铁十四局济南黄岗路黄河隧道项目党支部书记薛正生表示。 2021年9月,“万里黄河第一隧”济南济泺路黄河隧道通车,超大直径盾构隧道首次穿越地上“悬河”,自此济南开启了穿黄隧道时代。四年后的今天,黄岗路黄河隧道的建成通车,让济南的“跨黄”之路越走越宽。 从架桥到钻隧,变的不只是工程方式,济南跨黄通道的“打开方式”也在不断升级。 “四桥四隧”成网,黄河渐成“城中河” 桥隧通,则产业兴、城市活。黄岗路黄河隧道不只是一条过河通道,更是为城市“解绑”的关键一步。而这样的“解绑”效果,早已在起步区得到印证。θ-TaN 如果能以薄膜形式沉积,就能无缝衔接现有产线,无需引入额外工艺。 数据不会说谎。

q | 此外,它既能充当芯片背面的热扩散层,也可以作为热界面材料(TIM)的高导热填料,甚至有可能在高功率射频器件和电力电子模块中,成为兼具导电与导热功能的一体化互连层,光这一点,就是绝缘的金刚石做不到的。

r | 济南黄河大桥新桥通车一年后日均车流量突破5万辆,过河仅需3分钟;鹊山生态文化区自开园以来已累计接待客流约307万人次……桥隧带来的不仅是物理距离的缩短,还有生活方式的重塑。 对于市民而言,变化首先体现在出行成本的断崖式下降。在核研院工作的刘坤良算过一笔账,得益于桥隧免费通行政策,他每年通勤成本能省下7000多元,越来越多市民开始选择“南岸居住、北岸工作”或“北岸安家、南岸消费”的双向生活模式,节假日跨河看演出、品美食也成为新消费趋势。 物流效率同样在改写。

s | 在桑梓店街道做物流生意的李涛说,以前从主城区调运产品到起步区需提前一天备货;如今走黄河大桥新桥,1小时内就能送达,物流效率提升30%。交通设施的完善,正成为撬动起步区产业导入与人才集聚的“强引擎”。 “它如同强劲的‘输血管’,将人才、资金、技术源源不断输送至黄河北岸。

t | ”薛正生告诉记者。

u | 黄岗路黄河隧道通车后,将进一步促进济南拥河发展,加速黄河两岸经济交流与合作。 不过,团队也指出,受限于产能和制备难度,θ-TaN 短期内不太可能替代铜、铝等块状散热器材料,更现实的应用形态是被置于芯片和散热器之间,充当高导热中间层,功能类似上文提到的 CVD 金刚石薄膜。 事实上,黄岗路黄河隧道只是济南“四桥四隧”跨黄通道布局中的关键一环。

v | 向西看,“万里黄河第一隧”济泺路黄河隧道已通车运行;向东望,连接遥墙机场的航天大道黄河隧道正加紧建设,三条世界级大直径盾构隧道,在黄河之下构成了举世罕见的“超级隧道群”。而且,TaN 的 θ 相在常温常压下是亚稳相,未来要进入产业,还需评估其长期热稳定性。 造出 θ-TaN 之后,这项研究更重要的意义或许在于,团队进一步释放了金属材料的导热潜力。 如今,这些超级通道,正在深刻改变济南的城市格局。随着“四桥四隧”全部贯通,黄河将真正变成“城中河”,两岸通勤时间将进一步压缩。 一条隧道贯通南北,一城格局焕然新生。这不仅是交通格局的重塑,更是城市DNA的改写——从被动“跨黄”到主动“拥黄”,从依水而建到向河而兴。作者:济南日报·爱济南记者:张素芬 通讯员:李福英。论文显示,除了 θ-TaN 之外,氮化钨、磷化钼等过渡金属化合物的电子-声子耦合也偏低。这为行业和学界提了个醒,或许可以对这些物质进行系统性地合成和测量,筛出更多具备高导热性质的金属材料。 参考内容: https://www.science.org/doi/epdf/10.1126/science.aeb1142 运营/排版:何晨龙 注:封面/首图由 AI 辅助生成。
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Published on:14:13:13
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